| 专利号 | 96198677.8 | 申请日 | 1996.11.18 |
| 名称 | 电容耦合的射频类金刚石碳反应器 | ||
| 公开号 | CN1203640 | 公开日 | 1998.12.30 |
| 主分类 | D06M11/74 | 次分类 | D06M11/74;D06M10/06; |
| 纺织分类 | 用碳或石墨；用碳化物；用石墨酸或其盐（5） | 分案原申请号 | |
| 申请(专利权)人 | 纳幕尔杜邦公司; 加州 | 优先权 | 1995.12.1 US 60/007,848 |
| 地址 | 美国特拉华州威尔明顿 | ||
| 发明(设计)人 | D?J?德维林; D?M?克特斯; T?A?阿楚勒塔; R?S? | 国际申请 | PCT.US96/18438 96.11.18 |
| 国际公布 | WO97.20981 英 97.6.12 | 进入国家日期 | 1998.05.29 |
| 机构 | 中国专利代理(香港)有限公司 | 代理人 | 卢新华; 钟守期 |
| 介绍 | 提供了一种用类金钢石碳涂覆非电导性纤维的方法，包括将非电导性纤维在反应室中的一对平面金属栅极之间穿过，向反应室中充入烃气，在反应室中形成等离子体并保持足够长的一段时间，由此在非电导性纤维上形成类金钢石碳涂层，同时还提供了一种用于在非电导性纤维上沉积类金钢石碳的反应器室，包括一个真空室、一个阴极组件，该阴极组件包括一对间隔距离小于约１厘米的电绝缘相对的平面金属栅极，一个阳极，一个将烃气体充入所述真空室中的装置，以及一个在所述真空室中产生等离子体的装置。 | ||
